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가열 포집 및 냉각 포집하는 반응부산물 포집장치

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

차일수; 김용윤

申请日

Jun 25, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/67B1D 46/42C23C 16/44

CPC 分类

H1L21/67017B1D46/4263C23C16/4412B1D2258/216