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2.5D 또는 3D 집적 회로들에 대한 전력 라우팅
发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
H1L 23/538H1L 23/H1L 23/528H1L 23/535H1L 25/65H1L 25/18
CPC 分类
H1L23/5386H1L23/5286H1L23/535H1L23/5384H1L24/16H1L24/18H1L25/652H1L25/655H1L25/18H1L2224/16145H1L2224/16227