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스퍼터링 타깃

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

데라무라 교스케; 히로후지 겐타로

申请日

Jan 16, 2023

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

C23C 14/34H1J 37/34

CPC 分类

C23C14/3414H1J37/3423H1J37/3429H1J37/3491