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№ KR1029055870000B1
档案
스퍼터링 타깃
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发明专利
patent.status.granted
12
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
데라무라 교스케; 히로후지 겐타로
申请日
Jan 16, 2023
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
C23C 14/34
H1J 37/34
CPC 分类
C23C14/3414
H1J37/3423
H1J37/3429
H1J37/3491
外部资源
Google Patents
Espacenet