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기판 연속 제조장치의 에어필터 설치구조

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

专利申请人记载

发明人

김영환

申请日

Oct 17, 2023

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

B1D 46/

CPC 分类

B1D46/5B1D46/1

外部资源

Google PatentsEspacenet