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№ KR1029060740000B1
档案
인산을 함유하지 않은 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 배선의 형성방법
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发明专利
patent.status.granted
9
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
이대우; 신현철; 이상혁; 김규포
申请日
Nov 10, 2020
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
C9K 13/6
H1L 21/306
H1L 21/3213
CPC 分类
C9K13/6
H1L21/30604
H1L21/32134
外部资源
Google Patents
Espacenet