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인산을 함유하지 않은 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 배선의 형성방법

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

이대우; 신현철; 이상혁; 김규포

申请日

Nov 10, 2020

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

C9K 13/6H1L 21/306H1L 21/3213

CPC 分类

C9K13/6H1L21/30604H1L21/32134