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캐리어 웨이퍼 재생 방법

发明专利patent.status.granted

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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

专利申请人记载

发明人

이종명; 김진배

申请日

Apr 23, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/2H1L 21/304H1L 21/3105

CPC 分类

H1L21/2032H1L21/2024H1L21/304H1L21/31051

外部资源

Google Patents Espacenet