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№ KR1029063030000B1
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기판 처리 방법
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发明专利
patent.status.granted
11
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
이윤영; 손진철
申请日
Sep 21, 2022
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/311
H1L 21/33
CPC 分类
H1L21/31122
H1L21/332
H1L21/31144
外部资源
Google Patents
Espacenet