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중첩 서셉터 및 예열 링
发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
发明人
총, 저펑; 추, 슈베르트; 묘, 니 오.; 샤, 카르틱 부펜드라; 예, 지위안; 콜린스, 리차드 오.
申请日
Mar 23, 2022
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
C23C 16/458C23C 14/24C23C 14/50C23C 14/56C23C 16/44C23C 16/455C30B 25/14H1L 21/67H1L 21/687
CPC 分类
C23C16/4585C23C14/24C23C14/50C23C14/56C23C16/4408C23C16/4412C23C16/45502C23C16/4586H1L21/67115H1L21/68735H1L21/68742