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№ KR1029064280000B1
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플라즈마 반응 장치
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发明专利
patent.status.granted
11
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
최대규
申请日
Jan 6, 2021
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1J 37/32
CPC 分类
H1J37/32513
H1J37/32357
H1J37/3244
H1J37/32522
H1J37/32669
H1J2237/3341
外部资源
Google Patents
Espacenet
