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플라즈마 발생 장치

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

专利申请人记载

发明人

최대규

申请日

Feb 15, 2021

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1J 37/32H5H 1/46

CPC 分类

H1J37/3211H1J37/3244H1J37/32467H1J37/32522H1J37/32834H5H1/4652H1J2237/2H1J2237/3321H1J2237/3341H1J2237/335

外部资源

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