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№ KR1029065120000B1
档案
반도체 열처리 디바이스
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发明专利
patent.status.granted
9
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
양, 후이핑; 양, 수아이
申请日
Mar 25, 2022
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/67
H1L 21/677
CPC 分类
H1L21/67098
H1L21/67017
H1L21/67248
H1L21/67757
外部资源
Google Patents
Espacenet