CNIPA.AI
返回搜索
档案

기판 처리 장치

发明专利patent.status.granted
10浏览
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

김형규; 오승훈; 김은석

申请日

May 28, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/687H1L 21/67H1L 21/677

CPC 分类

H1L21/68785H1L21/67017H1L21/67778H1L21/68742H1L21/68764