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№ KR1029065710000B1
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发明专利
patent.status.granted
10
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
김형규; 오승훈; 김은석
申请日
May 28, 2024
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/687
H1L 21/67
H1L 21/677
CPC 分类
H1L21/68785
H1L21/67017
H1L21/67778
H1L21/68742
H1L21/68764
外部资源
Google Patents
Espacenet