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기판 상에 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

벡커 루카스; 스톡 피터

申请日

Aug 18, 2021

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/2

CPC 分类

H1L21/2532H1L21/243