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№ KR1029068250000B1
档案
기판 상에 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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发明专利
patent.status.granted
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
벡커 루카스; 스톡 피터
申请日
Aug 18, 2021
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/2
CPC 分类
H1L21/2532
H1L21/243
外部资源
Google Patents
Espacenet