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금속 도핑된 붕소 막들

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

专利申请人记载

发明人

아이딘, 아이컷; 청, 루이; 자나키라만, 카르틱

申请日

Apr 19, 2022

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/2C23C 16/22C23C 16/509H1L 21/33H1L 21/311

CPC 分类

H1L21/2274C23C16/22C23C16/5096H1L21/2112H1L21/22H1L21/332H1L21/31144

外部资源

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