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№ KR1029071370000B1
档案
산소 라디칼 보조 유전체 막 고밀화
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发明专利
patent.status.granted
8
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
샤르마, 쇼생크; 리우, 웨이; 선, 용; 자, 프라켓 프라카쉬
申请日
Nov 30, 2020
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H1L 21/2
H1J 37/32
H1L 21/3115
H1L 21/762
CPC 分类
H1L21/234
H1J37/32357
H1J37/32577
H1L21/2164
H1L21/217
H1L21/2222
H1L21/2271
H1L21/2323
H1L21/31155
H1L21/76224
外部资源
Google Patents
Espacenet