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수퍼사이클 원자 층 증착에 의한 신규의 비정질 하이-K 금속 산화물 유전체들의 방법들 및 애플리케이션들

发明专利patent.status.granted

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§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

发明人

선, 저린; 허, 광 수; 자오, 라이; 최, 수 용

申请日

Apr 22, 2021

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H1L 21/2H10D 30/67H10D 48/H10D 64/66

CPC 分类

H1L21/22H1L21/2164H1L21/2189H1L21/2274H1L21/2304H10D30/314H10D30/6731H10D30/6739

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