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№ KR1029073210000B1
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레이저 공정을 이용하여 양자기술용 질소-공극 센터 특성을 최적화하는 소자 제작 장치 및 그 방법
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发明专利
patent.status.granted
10
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
양민양
申请日
May 29, 2024
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H10D 48/
G6N 10/40
H10D 62/10
CPC 分类
H10D48/383
G6N10/40
H10D62/118
外部资源
Google Patents
Espacenet