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레이저 공정을 이용하여 양자기술용 질소-공극 센터 특성을 최적화하는 소자 제작 장치 및 그 방법

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

양민양

申请日

May 29, 2024

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H10D 48/G6N 10/40H10D 62/10

CPC 分类

H10D48/383G6N10/40H10D62/118