№ CN121320878A発明
有効一种镍铝合金靶材的制备方法
本申请涉及合金靶材的技术领域,具体公开了一种镍铝合金靶材的制备方法。本申请提供的镍铝合金靶材的制备方法,包括以下步骤:将镍铝合金粉末经过SPS烧结、热等静压、机加工,得到镍铝合金靶材;SPS烧结为:在450‑550℃保温10‑30min,升温至550‑650℃保温10‑30min,升温至650‑750℃保温5‑20min,升温至750‑850℃保温5‑20min;压力20‑50MPa,真空度10‑10Pa。本申请制备得到的镍铝靶材具有相对密度高、组织均匀无偏析、镀膜性能优异的优良性能;且可实现批量化生产密度稳定的镍铝合金靶材。
❖苏州六九新材料科技有限公司张凤戈; 张欠男; 张学华; 魏铁峰; 施政§ 2/10 請求項C23C 14/16 (2006.01), C23C 14/22 (2006.01), B22F 3/105 (2006.01) +26