浙江巨化汉正新材料有限公司

本发明涉及一种用于半导体制程冷却液的六氟丙烯二聚体制备方法，属于有机化学工业领域。向聚四氟乙烯内衬反应釜中加入负载催化剂、去离子水，密封后抽真空；通入六氟丙烯，边搅拌边反应，得到六氟丙烯二聚体粗品；将六氟丙烯二聚体粗品依次进行水洗、无水硫酸钠干燥、通过0.22μm滤膜过滤、精馏，收集塔顶馏分得到六氟丙烯二聚体；负载催化剂通过氟化铯、无水DMAc、MOF:UIO‑66(Zr)‑NH、4‑丙烯基哌啶、乙二胺制备得到；本发明的负载催化剂，可有效提高六氟丙烯二聚体的纯度，降低金属离子含量，满足半导体制程冷却液的严苛要求。

本发明涉及一种大数据中心用冷却液的六氟丙烯三聚体的生产工艺，属于氟化工技术领域。向反应器中加入非质子性溶剂、氟化铯，经氮气置换后，开启搅拌，升温，然后通入六氟丙烯，进行加成反应；反应结束后，静置，放出底层反应液；将反应液用去离子水洗涤，然后进行精馏，收集110‑115℃之间的馏分，得到六氟丙烯三聚体；本发明制备的六氟丙烯三聚体纯度高、收率高、杂质含量低，是大数据中心用冷却液的理想选择。