深圳市丰源升科技有限公司

本公开提供一种晶圆压胶设备，包括升降组件、下模组件、上模组件和翻转组件，在底座上设置下模板，并在下模板上形成承载槽，同时在上模板上形成压合槽，使晶圆和玻璃片分别位于对应的槽体内；承载槽和压合槽在上料后分别对晶圆和玻璃片进行吸附定位，从而减少工件在工作中的位置窜动。翻转组件与上模板的相对两侧转动连接，使压合槽能够在上料姿态和压合姿态之间切换；当压合槽转动至压合姿态后，安装板带动上模板下降，使压合槽与承载槽对齐压合。玻璃片在姿态变化和靠近晶圆的过程中始终由上模板承载并吸附定位，有利于保持晶圆与玻璃片之间的稳定对位关系，提高压胶后胶层铺展的一致性，并且能够减轻人工劳动强度，提高产品产出效率。