元の名称記録: 长飞石英技术（武汉）有限公司

本发明公开了一种通过正弦波形多周期热处理控制石英玻璃假想温度均匀性的方法，（1）预热阶段：将合成石英玻璃缓慢升温至中心温度Tc；（2）处理阶段：在中心温度Tc附近进行多周期的正弦波形升降温热扰动；（3）缓冷冻结阶段：热扰动结束后缓慢冷却至200℃以下，再自然冷却至室温；本发明采用基于正弦波形升降温的多周期扰动工艺，结合缓慢冻结策略，能够有效诱导玻璃结构均匀松弛，精确控制假想温度冻结路径，显著降低结构不均性和残余应力；处理后所得合成石英玻璃，其假想温度在直径方向的均匀性≤±10℃，应力双折射值≤2nm/cm，光学均匀性≤1.5 ppm。

本发明公开了一种基于数字孪生的石英棒熔融拉伸智能制造方法，包括以下步骤：1）采集石英棒熔融拉伸过程中的实时参数；2）数据预处理；3）根据采集的参数获取石英棒熔融拉伸过程中的温度分布与应变；4）构建石英棒熔融拉伸过程的融合热场、流场和应力场的多物理场数字孪生模型；5）利用模型对石英棒拉伸成型过程进行动态仿真，预测成型温度、应力分布及尺寸变化；6）根据孪生模型的预测输出，优化调整工艺参数；7）使用稳定后的工艺参数进行石英棒熔融拉伸制造。本发明构建了石英棒拉伸成型过程的多物理场数字孪生模型，通过物理实体与虚拟模型的同步与交互，实现了对制造过程的预测、优化，有利于提升产品成型质量与制造效率。

本发明提出一种石英玻璃沉积炉及其炉顶喷灯组件和控制方法。本石英玻璃沉积炉炉顶燃烧器组件包括固定于炉顶本体上的直线轨道以及主喷灯，炉顶本体的底端面从其圆心向外发射的方向上固定有两根或两根以上直线轨道，每一直线轨道上均安装有相对于其可滑移的主喷灯，主喷灯用于喷射含硅物质和加热，以主喷灯中心至与炉顶本体的圆心距离为半径并以炉顶本体的圆心画圆，形成一个或两个或两个以上虚拟圆，当形成的虚拟圆数量大于或等于2时，两个或两个以上虚拟圆间隔非均匀布置以规避波纹缺陷。本石英玻璃沉积炉通过设置主喷灯相对于直线轨道可移动，可用同一尺寸炉膛制备多种尺寸的石英玻璃。同时，有利于制造出性能更好、光均更高的石英玻璃锭。

本发明公开了一种基于深度学习的石英玻璃无接触拉管工艺参数优化方法，包括以下步骤：1）在玻璃管的连续成型过程中，对工艺参数以及成型质量指标进行实时采集；2）对玻璃管表面和横截面进行实时成像；3）以步骤2）获取的图像和对应的工艺参数组合为输入，基于深度学习检测模型进行缺陷检测与分类；4）根据几何精度指标与缺陷风险指标获得成型质量代价函数，评价不同工艺参数下的成型质量；5）将综合质量评分与对应批次的工艺参数一并输入到贝叶斯优化模型中，获得最优工艺参数组合；6）根据贝叶斯优化输出的最优工艺参数组合，调整无接触拉管装置的关键控制变量。本发明方法实现工艺参数的自适应调节和产品质量的优化。