№ CN121318480A発明
有効大型万吨级超细氮化硅粉体生产方法
本发明公开了一种大型万吨级超细氮化硅粉体生产方法,其特征是:包括以下步骤:S1、使三氯氢硅发生歧化反应,生成含硅烷和四氯化硅的混合物,对所述混合物进行分离提纯,分别得到高纯的硅烷和高纯的四氯化硅;S2、使步骤S1得到的所述硅烷与氨气在流化床反应器中进行反应,得到目标产物氮化硅、副产物氢气以及过量氨气,对氮化硅和氢气、氨气进行收集;S3、使步骤S1得到的所述四氯化硅、步骤S2得到的所述氢气以及硅粉进行冷氢化反应,重新生成三氯氢硅;S4、将步骤S3生成的所述三氯氢硅返回步骤S1循环使用。本发明为封闭式反应系统,自制硅烷,降低生产成本,便于量产。
❖海宁圭安材料科技有限公司丁高松§ 1/6 請求項C04B 35/591 (2006.01), C04B 35/626 (2006.01), C01B 33/107 (2006.01) +1