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阳极组件、电镀装置及电镀方法

本发明公开了一种阳极组件、电镀装置及电镀方法。所述阳极组件包括若干阳极本体，所述若干阳极本体中每个阳极本体的纵截面为预设的钝角多边形。相对于常规的电镀装置的方形阳极，本发明提供的阳极组件，通过划分为多个区域的阳极本体，每个阳极本体切割为钝角多边形，减少电场线在阳极边缘区域聚集，提升电场线在阳极各处分布的均匀性，削弱电场边缘效应，保证电镀的均匀性；每个阳极本体独立控制电流密度，更加精准控制电场，且互不影响，提升电镀均匀性和精准性。

❖芯栋微（上海）半导体技术有限公司史蒂文·贺·汪; 印琼玲; 王亦天; 林鹏鹏Oct 16, 2026§ 4/10 청구항C25D 17/10 (2006.01), C25D 17/00 (2006.01), C25D 21/12 (2006.01)