TOTO株式会社

本发明提供一种卫生洗净装置，其能够抑制在从便器拆下而临时放置时供水软管发生弯折或壳发生倾斜，同时上下方向上容易实现紧凑化。本发明的卫生洗净装置具备：喷嘴，向人体局部吐出水；阀单元，设置在供水源与喷嘴之间的管路上且具有电磁阀；壳，收纳喷嘴、阀单元；供水软管，用于从供水源向壳的内部供水且具有可挠性；及供水连接部，连接供水软管与阀单元，其特征为，壳具有从底面向上方凹下的凹部，供水连接部设置于凹部的朝向后方或侧方的侧面。

本发明的目的在于提供一种可长期维持电弧放电的抑制效果的静电吸盘以及处理装置。提供一种静电吸盘，具备：接合部，设置在基板与基座板之间；气体导入路，具有位于基板的第1孔部、位于基座板的第2孔部和位于接合部的第3孔部；锪孔部，设置在第1孔部及第2孔部的至少任意一个；及多孔质部，具有向第3孔部露出的露出面且设置在锪孔部，当将从基座板朝向基板的方向作为第1方向时，多孔质部具有：具有透气性的多孔部；及与多孔部相比更致密的致密部，致密部被配置成覆盖多孔部的外周，致密部的至少一部分构成从露出面沿着第1方向朝着第3孔部突出的第1突出部。