德沪涂膜设备（苏州）有限公司

本发明公开了一种超声喷涂设备和超声喷涂方法，超声喷涂设备包括支撑杆、安装于支撑杆的喷头组件以及用于支撑支撑杆的支撑立柱；支撑杆的支撑点与支撑立柱连接，支撑杆位于支撑点一侧的第一部分长度大于支撑杆位于支撑点另一侧的第二部分的长度，第一部分用于安装喷头组件；其中，第二部分安装有供液组件，供液组件用于朝向喷头组件供给液体，供液组件对第二部分进行配重，以平衡支撑杆在支撑点两侧的重量，以支撑点作为支点，第二部分和供液组件组合的力矩与第一部分的力矩相同。本发明的超声喷涂设备用于提高安装喷头组件的支撑杆的稳定性，降低喷头组件在喷涂过程中产生的非预期抖动，提高喷涂设备的喷涂均匀性以及制备的薄膜的厚度均匀性。

本发明公开了真空闪蒸成膜装置，包括箱体、抽气组件、挡板；箱体内部形成有用于容纳基板的容纳腔室；抽气组件设置于所述箱体的上方并与所述箱体连接，所述抽气组件用于抽取所述容纳腔室内的气体；挡板围设于所述基板的安装位置的外周，所述挡板的最高端高于所述基板，所述挡板沿水平方向阻挡所述容纳腔室的边缘位置与所述基板的安装位置。本发明的真空闪蒸成膜装置用于降低箱体内气体流速差异对基板上液膜的干燥效果的影响，提高液膜各处干燥结晶的一致性。