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本发明公开了一种医用低温蒸汽过氧化氢快速灭菌装置及灭菌方法，包括真空密闭且温度在55℃～65℃的灭菌舱、负压闪蒸汽化装置、解析装置、废气高温离子催化装置、真空泵、控制器，负压闪蒸汽化装置包括与灭菌舱相连通的空腔，负压闪蒸汽化装置对空腔内的浓度为6％～8％的过氧化氢溶液进行汽化，汽化后的过氧化氢进入到灭菌舱内对手术器械进行灭菌；解析装置用于对灭菌舱内的手术器械表面残留的过氧化氢进行解析；废气高温离子催化装置将出气口抽出的灭菌舱内残留的过氧化氢蒸汽分解成水和氧气。本发明提供的医用低温蒸汽过氧化氢快速灭菌装置及灭菌方法，避开危化品管理，使用更安全，对人及环境友好，腐蚀性降低，实现真正的低温快速灭菌。