华能青海发电有限公司

本申请公开一种微源阵列式蒸发装置及其蒸镀方法。所述装置包括微源阵列板和温控系统，微源阵列板设有若干呈阵列分布的微蒸发单元，各微蒸发单元包括微型蒸发器和加热元件。温控系统分别调节各微蒸发单元或者各蒸发分区的加热功率。微源阵列板与待镀基板平行设置且间距不大于200mm。蒸镀时，若干个微蒸发单元产生的蒸汽在待镀基板表面叠加沉积。该方案能够减少蒸汽侧向发散，提高材料利用率、蒸发速率及薄膜沉积均匀性。

本发明涉及光伏逆变器调频控制技术领域，尤其是指一种两级式光伏逆变器的直流侧虚拟惯性调频方法及装置。本发明将频率调节功能从后级逆变器迁移至前级DC/DC变换器，由其根据电网频率偏差生成调频功率增量指令；基于直流母线电压与预设低限阈值比较结果判断功率备用裕度，以决定进入调频模式或最大功率点跟踪模式；切换时引入线性衰减校正补偿项，使功率参考值以切换前实际工作点为初值并平滑衰减至调度设定值；叠加调频功率增量与调度设定值生成完整功率参考值，调节光伏阵列工作点响应频率偏差。本发明实现了直流母线电压稳定与频率支撑的结构性解耦，消除了模式切换时的功率冲击与电压扰动，提升了系统频率响应性能。

本发明涉及钙钛矿电池制备技术领域，公开了一种钙钛矿电池退火用超声雾化精准均匀加湿装置及方法，装置包括退火炉体、超声雾化组件、湿度调控组件、气流均布组件及控制单元；退火炉体内部设有退火腔，超声雾化组件与退火腔连通；退火腔内设置有气流通道，气流均布组件设置在退火腔的气流通道上，湿度调控组件的检测端伸入退火腔内部，控制单元分别与超声雾化组件、湿度调控组件、退火炉体电连接。本发明通过集成超声雾化组件产生微米级均匀水雾，解决了水雾粒径过大易污染腔体及损害薄膜的问题；通过湿度调控组件伸入退火腔内部实时监测湿度，结合控制单元闭环调节水雾量，解决了湿度控制精度低、易致薄膜开裂或结晶不充分的问题。