№ CN121344570A발명
유효对基材进行热处理的方法和设备
本发明涉及一种用于对基材进行热处理的方法,其中,基座(5)承载至少一个基材,由加热装置(13)加热,并且围绕转动轴线(A)被转动驱动,其特征在于,在相对于壳体(1)位置固定的热影响区(17)处,热量随着基座(5)的转动同步地从基座(5)导出。此外,本发明还涉及一种用于对基材进行热处理的设备。
❖艾克斯特朗欧洲公司P·S·劳弗§ 2/11 청구항C23C 16/46 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01)9