一种锗氟化过程中氟化氢杂质的去除方法及装置
本发明提供一种锗氟化过程中氟化氢杂质的去除方法及装置,所述方法包括:获取含有氟化氢杂质的氟气气体;对所述含有氟化氢杂质的氟气气体进行吸附处理,去除部分氟化氢杂质,得到初步处理后的氟气气体;将所述初步处理后的氟气气体与锗粉发生反应,得到含有氟化氢杂质的四氟化锗气体;将所述含有氟化氢杂质的四氟化锗气体依次经过冷凝、闪蒸纯化、再冷凝和吸附处理,得到净化后的目标四氟化锗气体,所述目标四氟化锗气体中的氟化氢含量低于预设值。本发明的方案可以高效去除四氟化锗气体中的氟化氢杂质。