江苏莱蒙仪器科技有限公司

本发明公开了一种中低压力蒸汽干度检测仪及其检测方法，检测仪包括蒸汽进气通道、蒸汽干度热量管、电阻加热组件、功率闭环控制组件、温度检测组件、压力检测组件、可调控限流单元、冷凝组件、冷凝水体积测量组件以及控制器；控制器用于获取温度检测组件反馈的蒸汽加热前后的温度参数、压力检测组件反馈的待测蒸汽的实时压力、功率闭环控制组件反馈的电阻加热组件的实际输入功率、固定容器加压差传感器反馈的压力差；根据热量衡算及冷凝水体积‑时间斜率计算蒸汽质量流量和蒸汽干度。本发明在所有数值的稳定区间值以及根据冷凝水体积‑时间斜率流量计算机制，通过稳定值斜率变化进行干度变化值的实时监测，快速、稳定和精准检测蒸汽干度值。

本发明公开了一种混合粒径PSL标准粒子气溶胶发生装置，包括：腔体；底端的取样结构包括若干取样管，一端插入至腔体内部中间区域，另一端从出气通道导出；腔体顶端的进样通道包括空气入口、小粒径PSL粒子入口和大粒径PSL粒子入口；其中，空气入口用于向腔体中竖直向下通入洁净干燥空气；小粒径PSL粒子入口与小粒径PSL粒子发生单元连接，大粒径PSL粒子入口为三通阀，分别作为大粒径PSL粒子入口和等离子中和气体入口；大粒径PSL粒子入口与大粒径PSL粒子发生单元连接，等离子中和气体入口用于向腔体中竖直向下通入洁净等离子中和气体；本发明兼顾0.1μm～1μm小粒径粒子与1μm～10μm大粒径粒子的输出需求。