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本发明属于压电风扇技术领域，特别涉及压电风扇装置及其制备方法。其技术方案为：压电风扇装置，包括支撑框架，支撑框架设置有吸气端和吹气端，支撑框架内安装有至少一个压电振子，支撑框架的吹气端内连接有若干格栅；所述压电振子包括振膜，振膜靠近吸气端的上下两侧均连接有夹块，振膜靠近吸气端的左侧连接有限位器，限位器连接于支撑框架内的吸气端；所述振膜的衬底材料采用不锈钢或单晶硅，对压电振子施加固定频率的正弦波或方波的周期性电压激励。本发明提供了一种工艺和结构简单、薄型化且高效率的压电风扇装置及其制备方法。

本发明属于超声微马达技术领域，特别涉及一种超声微马达定子结构、制备方法以及集成模组。其技术方案为：一种超声微马达定子结构，包括环状的弹性基底，弹性基底的上、下两侧均沿圆周方向设置有若干压电薄膜组件，上侧的若干压电薄膜组件和下侧的若干压电薄膜组件一一正对设置，同侧的若干压电薄膜组件加载的驱动信号沿圆周方向等相位变化。本发明提供了一种超声微马达定子结构、制备方法以及集成模组，保持微马达低电压驱动、低功耗的优势下，保证低成本批量制备，实现更大力矩的输出，解决微马达驱动力矩不足的问题。

本发明属于压电超声电机技术领域，特别涉及压电微马达定转子结构以及微型压电马达模组。其技术方案为：压电微马达定转子结构，包括定子和转子，定子包括钢板、设置于钢板上的压电薄膜和在压电薄膜上沿圆周布置的若干电极；在若干电极上加载交流驱动电压后，定子上激发出周向传动的行波，定子上的行波具有至少一个波峰，转子上固定有与行波的波峰数量相同的永磁体，钢板与永磁体之间存在磁吸引力。本发明提供了一种压电微马达定转子结构以及微型压电马达模组；利用低电压驱动的压电陶瓷薄膜作为换能元，并通过磁吸力来进行耦合，实现低电压驱动的同时，超声微马达厚度足够薄，为嵌入终端等应用提供支撑；通过磁吸力作为耦合驱动力，避免了定转子之间的摩擦磨损，提升了超声电机的寿命。