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本发明公开了一种MEMS陀螺仪敏感芯片，该芯片包括：基板；设置在基板上的若干模块；模块包括：第一质量块和第二质量块，第一质量块和第二质量块间隔于基板所在平面，且两个质量块被配置为在第一速度作用下可沿着平行于基板的第一方向相向位移，在第二速度作用下可沿着平行于基板的第二方向背向位移，其中，第一方向与第二方向正交；驱动模块，驱动模块设置在第一质量块和第二质量块之间，且驱动模块在第一方向分别与第一质量块和第二质量块连接；检测模块，检测模块围绕第一质量块和第二质量块，且检测模块与质量块连接。本发明具有抑制正交耦合和共模误差的优点。

本申请涉及激光检测技术领域，公开了一种激光功率计，包括壳体、基板、吸收膜、压电层、热电堆、中央处理器和压电电源，基板设于壳体的内部，其包括相对设置的第一表面和第二表面吸收膜设于第一表面；压电层设于第一表面，并位于吸收膜的外围；热电堆对应所述吸收膜设于所述第二表面；中央处理器与热电堆电连接；压电电源，与中央处理器及压电层电连接。本申请可以通过周期性改变压电层的正负极电压，使得压电层在变化电压的作用下周期性收缩和舒张，基板在压电层的带动下作往复振动，从而加强了基板与空气的换热，使得热电堆冷端温度稳定，提高了激光功率计的散热效果，保证了测量精度。无需增加散热器和风扇，设备体积大大减小。

本发明公开了一种双向开关器件及其应用，该器件包括：衬底；形成在衬底上的沟道层；形成在沟道层上的势垒层；形成在沟道层上且位于势垒层两侧的第一电极和第二电极；形成在第一电极和第二电极之间且在势垒层上间隔设置的第一栅极和第二栅极；第一电极、第一栅极和第二电极之间电连接形成第一开关管，第一电极、第二栅极和第二电极之间电连接形成第二开关管，通过向第一栅极施加电压信号来控制第一开关管的导通或截止且当第一开关管导通时，形成从第二电极到第一电极的电流，通过向第二栅极施加电压信号来控制第二开关管的导通或截止且当第二开关管导通时，形成从第一电极到第二电极的电流。本发明可以在同一芯片器件实现双向开关的功能。