株式会社三丰

本发明涉及一种用于确定样品的样品表面高度图的方法。本发明还涉及一种用于确定样品表面高度图的方法，包括预扫描步骤和高精度扫描步骤。本发明还涉及一种配置用于确定样品表面高度图的光学轮廓测量设备。本发明还涉及一种包括计算机程序的计算机可读数据载体。

提供了使得操作者能够容易地理解在测量期间要执行的下一操作的图像测量装置和程序。图像测量装置捕获测量对象的图像，并且通过分析图像来测量测量对象的测量点的尺寸。图像测量装置包括：用于显示图像的显示部件和用于图像分析的测量应用软件的用户界面；以及用于执行测量应用软件的控制部件。控制部件基于测量应用软件的处理状态识别被推荐的下一要执行的操作，并使得显示部件在显示部件上显示的测量应用软件的画面上显示推荐操作的文本通知和指示推荐操作的位置的标记。