原始名称记载: 北京和崎精密科技有限公司

本发明提供了一种执行装置、机械手及机械手的控制方法。执行装置与机械手臂连接，用于取放被抓取物，执行装置包括至少一个固持机构、第一驱动机构、连接端和数据收发单元。第一驱动机构与至少一个固持机构连接，并驱动至少一个固持机构固持或释放被抓取物。连接端与至少一个固持机构或第一驱动机构连接。连接端与机械手臂可分离连接。数据收发单元与第一驱动机构数据连接，数据收发单元被配置为接收控制信号，并控制第一驱动机构。本发明的实施例可以更换为与对应的被抓取物或工艺流程相匹配，有利于降低成本，并减少调试过程，提高加工转运效率。同时，有利于简化执行装置的数据线路，简化执行装置和机械手臂的匹配难度。

本发明提供了一种加热组件、半导体加工设备以及拆装治具，有效解决了因炉丝蠕变变形导致的安全缺陷，如炉丝下垂、匝间短路、对地短路、局部过热和加速断裂等问题，同时改善了热场均匀性和工艺稳定性。加热组件包括多个加热单元和多个支撑件。所述多个加热单元沿第一方向间隔设置，所述加热单元包括炉丝和保护框架，其中，所述保护框架配置为环形结构，所述保护框架包括多个保护件，所述保护件的内侧设置有凹槽，所述多个保护件沿所述保护框架的圆周方向依次连接，且多个所述保护件的凹槽相互连通形成安装槽，所述炉丝可拆卸地设置在所述安装槽中；多个支撑件分别可拆卸地设置在相邻的加热单元之间。

本发明公开了一种立式炉炉体的温度控制方法。该方法涉及设备控制技术领域，包括以下步骤：温度实时控制；特征提取与模型训练；退化状态评估；温度合理性判断与报警。本发明通过划分温区模块实现精准温控，并采集温度与加热元件数据建立时间序列退化模型，用以评估元件状态并修正温度测量值，最终进行合理性判断与报警，确保工艺温度稳定，提高立式炉炉体的温度控制精度，解决了现有技术中存在立式炉炉体的温度控制精度低的问题。

本发明提供了一种立式炉炉体故障诊断系统及方法，属于故障诊断技术领域，包括：状态图构建模块，用于利用多种测量设备，对炉体中的各个工作部件进行实时监测，按照时间顺序依次构建每个时刻下每个工作部件的测量状态图；图像预处理模块，用于采集炉体内部的工作状态图，对采集到的工作状态图进行图像预处理；对比分析模块，用于将预处理后的图与第一标准图进行对比分析，计算两者在图像特征上的差异，同时，将工作部件的第二标准图与测量状态图进行异常对比；故障诊断模块，用于根据差异以及异常对比结果确定工作部件的特征量，并依据映射关系对工作部件进行故障诊断锁定最终的故障类型及预警，实现立式炉炉体故障的精准、提前诊断。

本发明涉及晶圆搬运设备技术领域，本发明提供了一种搬运装置及晶圆存储装置，其中一种搬运装置用于搬运晶圆盒或晶圆片，基础主体用于在机械臂机构的带动下进行运动；晶圆盒搬运机构用于紧固晶圆盒；晶圆片搬运机构用于紧固晶圆片；驱动件滑动设于基础主体上。将晶圆盒搬运机构和晶圆片搬运机构设置在同一个基础主体上，实现了两种搬运功能的集成，有效减小搬运装置的体积，提高空间利用率。晶圆盒搬运机构和晶圆片搬运机构均具备闲置状态和作业状态，能够在驱动件的作用下切换。两种搬运机构不会同时展开，避免空间浪费，同时降低部件干涉的风险。通过上述技术方案，解决了相关技术中现有的搬运装置占用空间大的技术问题。