卡尔蔡司SMT有限责任公司

本发明涉及一种用于恢复高性能显微镜（22）的成像质量的方法，所述高性能显微镜具有图像传感器（36）和成像光学单元（30），所述成像光学单元具有多个光学元件（L1至L3）并且将物平面（32）成像到所述图像传感器（36）上。在所述显微镜（22）的成像质量满足规格的第一时间点，将结构（60；60a、60b）布置在所述物平面（32）中。随后，以聚焦方式记录所述结构的图像1‑1，并且以离焦方式记录另一图像1‑2。在更换光学元件之后或为了确保成像质量，在较晚的时间点再次将所述结构布置在所述物平面（32）中。随后，以聚焦方式记录所述结构的图像2‑1，并将其与图像1‑1进行比较，以检测至少一个第一成像误差。随后实施用于粗略校正所述第一成像误差的第一措施。此后，以离焦方式记录所述结构的图像2‑2，并将其与图像2‑2进行比较，以检测第二成像误差。最后，实施用于校正所述第二成像误差的第二措施。替代地，也可以基于所述显微镜的光学设计来模拟图像1‑1和1‑2。