№ CN121322340A発明
有効批量红外加热管真空处理设备及工艺
本发明公开了批量红外加热管真空处理设备及工艺,涉及红外加热管真空处理技术领域,包括放置架和气动传输机构,放置架侧安装有气动传输机构,气动传输机构包括放置架侧安装的传导组件,传导组件由真空泵、高压钢瓶、气体管路和阀门组成;本发明通过设计了多工位同步处理系统,实现了石英管的批量装夹和连续处理,采用了独特的气路切换机制,通过滑动导向机构和特殊设计的葫芦块结构,实现了抽真空与充气功能的高效转换,开发了高效的密封工艺,结合氢氧焰火炬密封技术,确保了石英管封接的可靠性和一致性。
❖安徽灏东光电科技有限公司叶根深; 叶玉梅; 丁红日; 梁叶飞; 叶婷婷§ 1/8 請求項F04B 37/14 (2006.01), F04B 39/00 (2006.01), F04B 39/10 (2006.01) +2