JSR株式会社

提供一种液晶取向剂、液晶取向膜及液晶元件。所述液晶取向剂含有聚合物（P），所述聚合物（P）为选自由聚有机硅氧烷及加成聚合物所组成的群组中的至少一种，聚合物（P）具有特定结构（a‑1）与特定结构（a‑2），或者具有特定结构（b），或者具有特定结构（a‑1）、特定结构（a‑2）及特定结构（b）。特定结构（a‑1）：经取代或未经取代的含氮芳香族杂环；特定结构（a‑2）：选自由经保护的氨基、经保护的酰胺基及经保护的脲基所组成的群组中的至少一种（其中，排除经保护的氨基、经保护的酰胺基或经保护的脲基中的氮原子构成芳香族杂环的一部分的情况下的官能基）；特定结构（b）：式（0）所表示的部分结构。

本发明的目的在于提供一种感放射线性组合物、以及图案形成方法，所述感放射线性组合物能够形成可以充分的水平发挥感度、曝光宽容度、焦点深度、图案矩形性、保存稳定性、显影缺陷性能及耐干式蚀刻性的抗蚀剂膜。一种感放射线性组合物，含有：包含具有酚性羟基的结构单元（I）与下述式（2）所表示的结构单元（II）的聚合物（A）、下述式（1）所表示的化合物（B）、交联剂（Q）及溶剂（E）。（式（1）中，R、R、R及R分别独立地为氢原子或碳数1～40的一价有机基；R及R分别独立地为氢原子或碳数1～40的一价有机基，或者表示R及R相互结合并与这些所键结的碳原子一起构成的碳数3～10的脂环结构；R及R分别独立地为氢原子或碳数1～40的一价有机基，或者表示R及R相互结合并与这些所键结的碳原子一起构成的碳数3～10的脂环结构；R为卤素原子、氰基、硝基、羟基或碳数1～40的一价有机基；在R存在多个的情况下，多个R相互相同或不同；n为1～5的整数；p为0或1；R为碳数1～40的一价有机基；X为‑O‑、‑S‑、‑SO‑或‑CO‑）（式（2）中，R为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；n1为0～5的整数；X为卤素原子、氰基、硝基、烷基、羧基或氟化烷基；在X存在多个的情况下，多个X相互相同或不同）。