元の名称記録: 中科微感（宁波）科技有限公司

本申请涉及气体检测技术领域，提供了一种堆叠式结构的MEMS气体检测组件和嗅觉传感器，能够解决嗅觉传感器无法小型化、集成度低且不便携的技术问题。气体检测组件包括：多个电路板，多个电路板沿第一方向分布，相邻的两个电路板电连接，多个电路板包括至少一个第一电路板和一个第二电路板；MEMS气体传感器阵列，包括多个MEMS气体敏感元件，MEMS气体敏感元件对目标气体具有交叉敏感性，MEMS气体敏感元件以表面贴装方式集成于第一电路板；微处理器，设于第二电路板，用于采集多个MEMS气体敏感元件的响应信号，并对响应信号进行数据处理和模式识别，以及输出气体浓度数据和识别结果。

本申请涉及气体检测技术领域，提供了一种MEMS基气体检测组件和嗅觉传感器，能够解决检测结果易被空气温湿度干扰，检测精度差的技术问题。MEMS基气体检测组件包括第一电路板；MEMS气体传感阵列，包括多个MEMS气体敏感元件，MEMS气体敏感元件对目标气体具有交叉敏感性，MEMS气体敏感元件以表面贴装方式集成于第一电路板，MEMS气体敏感元件用于输出响应信号；MEMS温湿度传感器，设于第一电路板，MEMS温湿度传感器用于检测温度值信息和湿度值信息，温度值信息和湿度值信息用于对响应信号进行补偿；其中，多个MEMS气体敏感元件呈矩阵分布，或多个MEMS气体敏感元件呈环形分布。

本申请属于一氧化碳检测领域，具体公开了一种MEMS一氧化碳传感器及其制备方法和应用。该MEMS一氧化碳传感器包括MEMS基底及其上方依次溅射形成的InO层、InO+NiO复合层、Au催化层组成的功能化复合敏感膜层。本申请通过InO/NiO p‑n异质结设计、Au纳米岛催化层等设置，使得制得的MEMS一氧化碳传感器获得了较低的一氧化碳检测限、快速响应和抗干扰能力强等特点，同时也实现了微型化、低成本、轻量化、低功耗、集成化程度高等效果，在一氧化碳的监测和预警领域有着较大的应用前景。