元の名称記録: 东莞市霖晨纳米科技有限公司

本发明涉及涂层技术领域，具体涉及一种应用于镀锌板冲压模具PVD涂层工艺方法，方法包括：对模具进行预处理，将模具表面经湿法清洗后置于真空沉积腔体中抽真空，并在惰性气体环境下加热至预定温度；在模具表面进行等离子体预处理，选用铬靶材的高功率脉冲磁控溅射阴极在氩气工作环境下放电产生富含铬离子的等离子体，并对模具施加负偏压；开启至少一个非平衡磁控溅射阴极，非平衡磁控溅射阴极采用电流斜升模式逐步增加靶电流以提高靶电压，并同步引入氮气作为反应气体，从而在模具表面沉积一层氮化物过渡层；在过渡层上采用高功率脉冲磁控溅射阴极与非平衡磁控溅射阴极同步工作进行多源反应溅射沉积，形成由钛铝钒和铬氮化物交替组成的多层硬质涂层。本发明通过结合高功率脉冲磁控溅射与非平衡磁控溅射技术，解决现有技术中涂层附着力差、耐高温性能不足的问题。