№ CN121335486A발명
유효晶圆真空吸盘的应力监控装置和方法
本申请提供一种晶圆真空吸盘的应力监控装置和方法，该应力监控装置包括应力传感器、信号处理单元、逻辑判断单元、运动控制单元和报警装置，对吸附销的运动进行实时应力监控，有效防止因拉应力过大而导致吸附销被拉断事件的发生。
❖华虹集成电路（成都）有限公司郑华明; 徐晓敏; 黄俊§ 2/6 청구항H10P 72/78 (2026.01), H10P 74/00 (2026.01)16
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