安徽万瑞冷电科技有限公司

本发明公开了一种方便拆卸更换的低温真空泵，将冷屏、吸附阵和障板固定连接成一体式结构的刚性整体，仅通过吸附阵与制冷机的二级冷头可拆卸固定，维修、维护时可同步整体取出并同步装配复位，无需单独拆分冷屏、吸附阵、障板之间的连接结构，降低了维修、维护时拆卸和安装的操作难度，缩短了维修、维护的时间，当吸附阵固定安装在制冷机的二级冷头上时，冷屏恰好贴合在制冷机的一级冷头上，吸附阵被制冷机的二级冷头冷却维持超低温，冷屏被制冷机的一级冷头冷却维持低温，冷屏与吸附阵之间隔热连接，隔绝冷屏与吸附阵之间的温度传递，维持吸附阵与冷屏之间温度差，冷屏与障板之间导热连接，使障板与冷屏温度保持一致，确保低温真空泵的正常运行。

本发明公开了一种用于聚变装置的低温真空泵，摒弃了传统液氦、液氮制冷介质，采用制冷机作为整机制冷源，省去了复杂的低温介质供给系统，结构紧凑，简化现场操作维护，便于聚变装置整机集成，并设计低气阻进气结构的障板，提高单位时间进入冷屏内部的气体量，通过在吸附阵前端设置预冷板，降低气体对吸附阵直接热冲击，保证吸附阵维持超低温，实现对聚变装置内工艺气体的大抽速、高容量捕集，泵体的阀门均采用气动形式，将电子元器件集中布置于控制箱内，有效抵抗强磁场、辐照环境以及射频场强带来的影响，泵体密封与粘接均选用无机材质，避免氢脆、氚渗透、氚交换等情况，防止氚气外泄。