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本发明公开了一种防止边缘粉末脱落的图案化陶瓷流延载带及流延方法，属于陶瓷流延技术领域，包括基膜，基膜中心区域涂覆隔离层形成中心低附着区，基膜两侧边缘未涂覆隔离层的区域形成边缘高附着区，两个边缘高附着区分别位于中心低附着区的两侧；流延方法，其特征在于，所述流延方法包括以下步骤：S1：制备载带，其总宽度为W1，中心低附着区的宽度为W2，两侧的两个所述边缘高附着区的宽度相等，均为D；S2：将陶瓷浆料涂布于载带上，浆料的涂布宽度为W3；S3：对涂布后的浆料进行干燥形成生坯带；S4：对生坯带进行分切，分切的宽度为W4，其中分切的宽度W4小于等于中心低附着区的宽度W2，确保产品完全位于中心低附着区内。

本发明公开了一种提高氮化铝陶瓷致密化的方法，属于氮化铝加热器技术领域，包括：S1：配料准备配料并混合，制备氮化铝陶瓷的配料包括：氮化铝粉末、氧化钇、氧化钙、粘结剂PVA；S2：球磨将上述步骤S1中混合完成的粉末配料放入行星式球磨机中，加入乙醇，球磨后形成液体浆料；S3：喷雾干燥使用喷雾造粒干燥机对上述步骤S中的液体浆料进行喷雾造粒，进口温度设为195℃，出口温度设置为80℃；S4：干压使用液压压片机进行干压，压力设置为150MPa进行压片，压制出直径20mm、厚度为5mm的圆片形陶瓷坯料；S5：烧结将陶瓷坯料放入烧结炉中进行烧结，形成氮化铝陶瓷。

本发明公开了一种用于静电卡盘的陶瓷焊接方法，属于静电卡盘技术领域，包括：S1：准备陶瓷贴合浆料的粉料陶瓷贴合浆料的粉料包括：YF、MgF、AlO、AlN粉末、TPO、粘结剂；S2：陶瓷贴合浆料制备将上述粉料与溶剂在擂溃机、三辊机、均质机混合均匀后形成陶瓷贴合浆料；S3：陶瓷贴合浆料印刷将上述制备的陶瓷贴合浆料印刷至所需焊接的样品连接表面上，形成陶瓷贴合浆料层，再将另一所述焊接的样品贴合在该陶瓷贴合浆料层；S4：烧结焊接将上步贴合后的样品置于热压炉中进行烧结焊接。