№ CN121321169A発明
有効一种电镀铜槽分阴极控制系统及其方法
本发明公开了一种电镀铜槽分阴极控制系统及其方法,涉及电镀控制技术领域。通过为每个阴极配置独立的整流控制单元,实现了分阴极精准独立控制,避免了多个产品共享电流源时的抢电流现象,有效解决了电镀均匀性差异大的问题,使每个产品能获得稳定、独立的电流供给,显著提升了电镀均匀性,保证了不同产品镀层质量的一致性。
❖昆山东威科技股份有限公司朱锦平; 韩友生; 董文泽; 方荣平; 袁晓波§ 2/10 請求項C25D 17/00 (2006.01), C25D 21/12 (2006.01)