元の名称記録: 江苏山水半导体材料有限公司

本发明公开了一种多晶硅流化床反应器，本发明涉及多晶硅制造技术领域，包括反应筒，所述反应筒的底端侧壁固定连接有多个支撑柱，多个所述支撑柱的一端均固定连接有底板。本发明能够在需要对颗粒状多晶硅进行反应生产时，利用第一气孔与第二气孔向反应筒内不断吹气，使反应筒内的反应气体在反应筒内四处分散，便于与颗粒状多晶硅之间进行反应，并且能够在反应筒完成工作后，利用检测板对反应筒内壁是否沉积硅进行检测，在检测到反应筒内壁沉积硅的位置后，利用处理板将反应筒内壁沉积硅刮掉，避免工作人员还需要定期对反应器内壁是否沉积硅进行检测，之后再对反应器内壁所沉积的硅进行清理，影响反应器连续运行的时间。