№ CN121319036A発明
有効一种四(二甲氨基)钛的合成方法
本发明属于半导体材料化学合成技术领域,具体涉及一种四(二甲氨基)钛的合成方法,其包括以下步骤:(1)将四氯化钛与二甲胺反应,生成中间体TiClx[N(CH)],其中x为0至4的整数;(2)使用二甲胺与有机金属锂试剂反应合成二甲氨基锂(LiN(CH));(3)将步骤(1)所得的中间体与步骤(2)所得的二甲氨基锂反应,得到四(二甲氨基)钛。本申请通过采用分步反应策略,从根本上降低了对昂贵正丁基锂的依赖,实现了原料成本的显著降低,同时该路径通过生成中间体优化了反应历程,不仅大幅提高了产品产率,还有效减少了副产物的生成,提升了产品纯度。
❖浙江陶特半导体材料有限公司范广鹏; 林俊元; 刘宇; 张一辉; 李胜帅; 谈思语; 谈益强§ 1/10 請求項C07F 7/28 (2006.01), C07F 1/02 (2006.01), C07C 209/00 (2006.01) +1