一种高硬度疏水导电玻璃及其制备方法
本发明公开了一种高硬度疏水导电玻璃及其制备方法,属于导电玻璃技术领域。该导电玻璃包括玻璃基底、第一ATO薄膜、ATO网格层、DLC薄膜和表面疏水膜,其透光率≥80%,方块电阻≤30Ω/sq,莫氏硬度≥8,疏水角≥110°。制备时,先在玻璃基底上磁控溅射第一ATO薄膜,旋涂丙烯酸乳液干燥形成牺牲层,再依次沉积第二ATO薄膜和ZnO薄膜,经超声处理形成网格状凸起结构,然后沉积DLC薄膜,再通过等离子刻蚀进行DLC表面刻蚀形成表面凸凹结构,随后进行热蒸发蒸镀一层疏水膜,最后去除ZnO薄膜得到产品。本发明通过复合结构设计,使网格中的ATO线作为电子引出层,DLC薄膜增加表面硬度,有效解决了导电玻璃硬度低和不疏水的问题,且制备方法简单、原料廉价,适合大规模生产。