№ CN122953208A발명
알 수 없음包括碳纳米管的纳米机电器件及制造方法
本公开涉及一种器件,该器件包括衬底、在衬底上的被配置为器件的源极或漏极的第一电极以及在衬底上的被配置为器件的源极和漏极中的另一者的第二电极。该器件进一步包括碳纳米管,该碳纳米管具有连接到第一电极的第一端部和连接到第二电极的第二端部,碳纳米管的中间节段悬浮在衬底的表面上方。碳纳米管基本上沿着纵向方向从第一电极延伸到第二电极。该器件还包括布置在碳纳米管上方并且被配置为多个顶部栅极的多个第三电极。第三电极沿着纵向方向并且沿着碳纳米管的中间节段布置在不同位置处。在碳纳米管的顶部部分与第三电极中的一个或多个第三电极的底部部分之间存在空的空间。本公开进一步包括用于此类器件的制造的方法。
❖埃德迪私人有限责任公司杰米什·马亨德拉巴伊·帕尔马; 吉列尔莫·阿尔巴雷达·皮克尔西; 努里亚·乌尔赫尔·奥列Oct 20, 2026§ 2/15 청구항B81C 1/00 (2006.01), H10D 62/10 (2006.01), H10K 10/46 (2006.01) +118