上海华曜遨光科技有限公司

本发明提出了一种磁悬浮测头及测量方法，包括壳体、上磁环、下磁环、刚性动子和FDM2 位移传感器；壳体包括上壳体和下壳体；上磁环固定安装在上、下磁环固定安装在下壳体上；上磁环、下磁环均位于壳体内；刚性动子包括测针盘和测针；测针盘位于上磁环、下磁环之间；测针盘具有磁性，测针盘与上磁环、下磁环均具有相排斥力以使测针盘稳定悬浮于上磁环与下磁环之间；测针安装在测针盘的底部，测针的下端延伸出下壳体；测针与下壳体不接触；FDM2 位移传感器固定安装在上壳体上。本申请能够提高测头对微弱接触力的响应灵敏度和重复性，满足超高精度三维测量过程中复杂曲面、微小结构及软脆材料表面的低损伤接触测量需求。