一种微型手指力三维力传感器
本发明公开了一种微型手指力三维力传感器,整体呈手指最前端的指尖状,包括弹性体、受力转接板、信号处理板、上盖板和下盖板,上盖板采用软材料制备而成,受力转接板挤压装入上盖板且与上盖板的内表面紧贴;下盖板覆盖在弹性体的下端面上且连接弹性体,受力转接板连接弹性体;信号处理板嵌入下盖板内且引线连接弹性体;弹性体包括弹性体轮箍、中心受力台和四根应变梁,四根应变梁均布设置在中心受力台与弹性体轮箍之间,四根应变梁上共设置十二片单晶硅半导体应变片,组成三个惠斯通电桥,分别测量Fx、Fy、Fz这三个方向的力。优点:本发明三维力传感器,体积小、重量轻、测量分辨率高。