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本发明公开了一种基于级联式行波电极MZI结构的硅光调制器，其技术方案要点是：包括硅基衬底，以及集成于硅基衬底上的输入光波导、级联MZI调制单元组、输出光波导和驱动电路；所述输入光波导的输出端与级联MZI调制单元组的输入端连接，级联MZI调制单元组的输出端与输出光波导的输入端连接，驱动电路与级联MZI调制单元组电连接；所述级联MZI调制单元组由至少两个MZI调制单元依次级联构成，每个MZI调制单元均配置有分段式行波电极；本发明突破带宽与驱动电压的矛盾限制：本发明采用级联MZI调制单元组设计，每个MZI调制单元的行波电极长度可大幅缩短。